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激光干涉原理
激光干涉儀
除了環境適應能力好,激光干涉儀還可以進行動態高速測量,選配相應的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。中圖儀器研發生產SJ6000激光干涉儀量程精度高。
產品參數
測量分辨力:1nm
動態采集頻率:50KHz
預熱時間:≤6分鐘
工作溫度范圍:(0-40)℃
環境溫度范圍:(0-40)℃,環境濕度:0-95%
主要特點:應用范圍廣、測量精度高、操作方便
SJ6000激光干涉儀量程精度
穩頻精度:0.05ppm
線性測量精度:0.5ppm(0-40)℃
線性測量距離:(0-80)m(無需遠距離線性附件)
角度測量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
產品特點
SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體:
采用高速干涉信號采集、調理及細分技術,可實現高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;
采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;
采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;
采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;
采用高性能計算機控制系統及軟件技術,支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。
應用領域
SJ6000激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,是高精度、高靈敏度測量儀器,廣泛應用于精密機械設備、精密檢測儀器、三坐標、機器人、3D打印設備、機床、自動化設備、線性位移平臺等領域的線性測量。
測量機床回轉軸精度
測量機床偏擺角度
數控機床精度校準
深圳中圖儀器堅持以技術創新為發展基礎,致力于精密測量、計量檢測等儀器設備的研發、生產和銷售。未來,中圖儀器將繼續專注于精密測量技術的發展,知難而上、勇于創新!